RF-104G是以F-104G為母體的戰術偵察機，洛克希德設計代號為682-04-10。該機拆除了M61A1航炮，並在腹部加裝航空偵察相機。大部分RF-104G採用內置的3台KS-67A相機，為此腹部增加了一個整流罩。不過，荷蘭空軍的RF-104G則採用偵察夾艙，在外觀上和F-104G並無多大差別。該型機共計生產189架。中華民國空軍則有8架RF-104G在1984年進行始安計畫，將原先的SK-76更換為李頓公司的72吋長鏡頭光學相機。在台灣海峽上空，RF-104的高速與長程攝影能力成為中華民國空軍重要的偵照主力，RF-104除役後目前中華民國空軍以RF-5E與RF-16接替任務，但嚴格來說這兩款機型的性能仍無法取代當年的始安機。